SR84/85

SR27A SR67A SR77 SR87 SR74/75 SR84/85 SL110 SL130 SL331 SL700 GB-ER (SR138R) SJ700A

Magnescale SR84/85

Maksimum çözünürlük: 0.01μm (SR85: Mitsubishi), 0.05μm (SR84)
Doğruluk (20derecede): 3+3ML/1,000μm p-p , 5+5ML/1,000μm p-p
Ölçüm Uzunluğu(L): 140 - 3,040mm
Maksimum cevap hızı: 200m/dk (SR85) , 50m/dk (SR84: çözünürlük: 0.1μm , minimum faz farkı: 50ns)
Protokol (SR85): Mitsubishi, Panasonic, YASKAWA